大浩のXYステージ調整技術は、装置組立、ハンドラッピング、調整、検査、評価の長年の積み重ねによる技術の集約により培われました。
大きな特長として、ガイド取り付け面を手作業によるラッピング研磨を行うことにより、機械加工では困難なピッチング、ヨーイング、真直度がご提供できます。
また、クリーンルーム内の安定した環境の下で、精度確認及び評価用の設備として、光電式2軸オートコリメータ及びレーザー測長システム(レーザーベース・ダイナミックキャリブレーションシステム)を活用することにより、精度の追い込みを行っています。
今後も一つの業界に縛られず、様々な業界のお客様のニーズに合った高精度のステージシステム及び駆動システムの設計・製作すべく、技術力向上に努めてまいります。
ストローク … 8000
精度 … ピッチング、ヨーイングともに20秒以内
駆動方式 … リニアモーションシステム
ストローク … 600
精度 … ヨーイング20秒、ピッチング5秒
駆動方式 … シャフトモータ
繰り返し位置決め精度 … 3μm以内
軸数 … X、Y、Z、Θ、チルト